Room-temperature diffusion and gettering of Au in silicon stimulated by MeV electron irradiation.

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兆电子伏电子辐照刺激下金在硅中的室温扩散和吸杂。

DOI:
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发表时间:
2015
期刊:
J. Phys. D: Appl. Phys. 2015201522
影响因子:
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通讯作者:
G.G. Qin
G.G. Qin
中科院分区:
其他
文献类型:
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作者:
Laixiang Qin;Yu Zhang;Ruixiang Hou;Ziang Xie;Wei Wang;Wanjing Xu;G.G. Qin

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