イオン照射による極性反転ScAlN薄膜の形成と高次モードFBARへの応用
イオン照射による極性反転ScAlN薄膜の形成と高次モードFBARへの応用
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离子辐照极性反转ScAlN薄膜的形成及其在高阶模FBAR中的应用
DOI：
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发表时间：
2014
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
柳谷隆彦
中科院分区：
文献类型：
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作者：
鈴木雅視;柳谷隆彦
