Mechanical properties of aluminum oxynitride films prepared by r. f. -reactive sputtering
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r制备的氧氮化铝薄膜的机械性能。
DOI：
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发表时间：
2008
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
et. al
中科院分区：
文献类型：
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作者：
M. Nose;K. Terayama;S. Ikeno;et. al
