量子デバイス作製装置及び方法、それを用いたシリコン量子コンピュータ素子
量子デバイス作製装置及び方法、それを用いたシリコン量子コンピュータ素子
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量子器件制造装置和方法以及使用其的硅量子计算机元件
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发表时间：
2005
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