Y. Sun, T. Ayabe and T. Miyasato: "Influence of SiC Cover Layer of Si Substrate on Properties of Cubic SiC Films Prepared by Hydrogen Plasma Sputtering"Jpn. J. Appl. Phys.. 38-7A. L714 (1999)
Y. Sun, T. Ayabe and T. Miyasato: "Influence of SiC Cover Layer of Si Substrate on Properties of Cubic SiC Films Prepared by Hydrogen Plasma Sputtering"Jpn. J. Appl. Phys.. 38-7A. L714 (1999)
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Y. Sun、T. Ayabe 和 T. Miyasato：“Si 衬底的 SiC 覆盖层对氢等离子体溅射制备的立方 SiC 薄膜性能的影响”Jpn。
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