激光剥离GaN表面的抛光技术

激光剥离GaN表面的抛光技术
复制标题

DOI:
--
复制
发表时间:
2014
期刊:
半导体技术
影响因子:
--
通讯作者:
张保平
张保平
中科院分区:
其他
文献类型:
--
作者:
刘文杰;张江勇;胡晓龙;张保平

文献摘要

相似文献