界面層削減方法、高誘電率ゲート絶縁膜の形成方法、高誘電率絶縁膜、及び高誘電率ゲート酸化膜を有するトランジスタ
界面層削減方法、高誘電率ゲート絶縁膜の形成方法、高誘電率絶縁膜、及び高誘電率ゲート酸化膜を有するトランジスタ
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界面层减少方法、高介电常数栅极绝缘膜的形成方法、高介电常数绝缘膜以及具有高介电常数栅极氧化膜的晶体管
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发表时间：
2009
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