T.Seino et al: "Atomic-Order Nitridation of Si by Radical-and Ion-Induced Reactions Using an Ultraclean ECR Nitrogen Plasma" 194th Meeting Abstracts of The Electrochemicl Society. 799 (1998)
T.Seino et al: "Atomic-Order Nitridation of Si by Radical-and Ion-Induced Reactions Using an Ultraclean ECR Nitrogen Plasma" 194th Meeting Abstracts of The Electrochemicl Society. 799 (1998)
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T.Seino 等人：“使用超净 ECR 氮等离子体通过自由基和离子诱导反应对 Si 进行原子级氮化”电化学学会第 194 次会议摘要。
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