正方晶Pb(Zr,Ti)O3薄膜における圧電特性の膜厚依存性
正方晶Pb(Zr,Ti)O3薄膜における圧電特性の膜厚依存性
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四方 Pb(Zr,Ti)O3 薄膜压电性能的厚度依赖性
DOI:
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发表时间:
2023
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
舟窪浩
中科院分区:
文献类型:
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作者:
茶谷那知;平井浩司;安岡慎之介;岡本一輝;舟窪浩