Multi-axis positioning control for pneumatic isolation table by using on-off valves
Multi-axis positioning control for pneumatic isolation table by using on-off valves
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利用开关阀实现气动隔离台多轴定位控制
DOI：
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发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Junichirou Tahara
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Masakazu Koike;Feifei Zhang;Junichirou Tahara
