Identification of different gas-phase reaction modes of WF6 with SiH4 for deposition of WSin films: powder formation and WSin cluster synthesis
Identification of different gas-phase reaction modes of WF6 with SiH4 for deposition of WSin films: powder formation and WSin cluster synthesis
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WF6 与 SiH4 沉积 WSin 薄膜的不同气相反应模式的识别：粉末形成和 WSin 簇合成
DOI：
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发表时间：
2018
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
and Toshihiko Kanayama
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Naoya Okada;Noriyuki Uchida;Shinichi Ogawa;and Toshihiko Kanayama
