H.Kubota and M.A Nicolet: "Model for Oxidation of TiN in Ion Beam assisted Deposition Process" Applied Surface Science. (印刷中). (1995)
H.Kubota and M.A Nicolet: "Model for Oxidation of TiN in Ion Beam assisted Deposition Process" Applied Surface Science. (印刷中). (1995)
复制标题
H.Kubota 和 M.A Nicolet:“离子束辅助沉积过程中 TiN 的氧化模型”应用表面科学(出版中)。
DOI:
--
复制
发表时间:
--
期刊:
影响因子:
--
通讯作者:
中科院分区:
文献类型:
--
作者: