Hirokazu Tahara et al.: "Near Substrate Plasma Characteristics of a Supersonic Ammonia and Nitrogen/Hydrogen-Mixture DC Plasma Jet for Nitriding under a Low Pressure Environment"Proc. 15th Int. Symp. Plasma Chemistry. 1. 205-210 (2001)
Hirokazu Tahara et al.: "Near Substrate Plasma Characteristics of a Supersonic Ammonia and Nitrogen/Hydrogen-Mixture DC Plasma Jet for Nitriding under a Low Pressure Environment"Proc. 15th Int. Symp. Plasma Chemistry. 1. 205-210 (2001)
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Hirokazu Tahara 等人：“低压环境下用于氮化的超音速氨和氮/氢混合直流等离子体射流的近基底等离子体特性”Proc。
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