Application of MEMS technology on Scanning Thermal Microscopy and Chip-Calorimetry

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MEMS技术在扫描热显微镜和芯片量热法中的应用

DOI:
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发表时间:
2007
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
Osamu NAKABEPPU
Osamu NAKABEPPU
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
Osamu NAKABEPPU;Kenichi TOKITA;Osamu NAKABEPPU;Osamu NAKABEPPU

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