SBDのI-V測定によるSiC加工表面の結晶性評価
SBDのI-V測定によるSiC加工表面の結晶性評価
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通过 SBD I-V 测量评估 SiC 加工表面的结晶度
DOI：
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发表时间：
2008
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
山内和人
中科院分区：
文献类型：
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作者：
白沢佑樹;佐野泰久;岡本武志;山内和人
