Bending deformation behaviour of a micro-sized SU-8 photo-resist for MEMS
Bending deformation behaviour of a micro-sized SU-8 photo-resist for MEMS
复制标题
MEMS 微型 SU-8 光刻胶的弯曲变形行为
DOI：
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发表时间：
2005
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Yakichi HIGO
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Chiemi ISHIYAMA;Junpei MATSUZAKI;Yakichi HIGO
