走査型プローブ顕微鏡による半導体点欠陥の観察
走査型プローブ顕微鏡による半導体点欠陥の観察
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使用扫描探针显微镜观察半导体点缺陷
DOI：
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发表时间：
2018
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
鷺坂 恵介
中科院分区：
文献类型：
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作者：
K. Yamazaki;K. Higuchi;H. Shimada;and Y. Mizugaki;坪井 泰之;岩松翼・稲川有徳・上原伸夫;鷺坂 恵介
