シミュレーションによる挟ギャップマイクロ波プラズマの解析
シミュレーションによる挟ギャップマイクロ波プラズマの解析
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窄隙微波等离子体的模拟分析
DOI：
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发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
足立昂拓，首藤光利，山田高寛，大参宏昌，垣内弘章，安武潔
中科院分区：
文献类型：
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作者：
内城千翔;鮑力民,剱持潔;安武潔，山田高寛，垣内弘章，大参宏昌;足立昂拓，首藤光利，山田高寛，大参宏昌，垣内弘章，安武潔
