K.S.Seol, Y.Tsutatani, T.Fujimoto, Y.Okada, K.Takeuchi, H.Nagamoto: "New in situ measurement method for nanoparticles formed in a radio frequency plasma-enhanced chemical vapor deposition reactor"Journal Vacuum Science and Technology B. 19・5. 1998-2000 (2

K.S.Seol, Y.Tsutatani, T.Fujimoto, Y.Okada, K.Takeuchi, H.Nagamoto: "New in situ measurement method for nanoparticles formed in a radio frequency plasma-enhanced chemical vapor deposition reactor"Journal Vacuum Science and Technology B. 19・5. 1998-2000 (2
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K.S.Seol、Y.Tsutatani、T.Fujimoto、Y.Okada、K.Takeuchi、H.Nagamoto:“射频等离子体增强化学气相沉积反应器中形成的纳米颗粒的新原位测量方法”期刊真空科学与技术 B 19・5. 1998-2000 (2

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