Development of a Compact X-ray Source and Super-sensitization of Photo Resists for Soft X-ray Imaging
Development of a Compact X-ray Source and Super-sensitization of Photo Resists for Soft X-ray Imaging
复制标题
用于软 X 射线成像的紧凑型 X 射线源和光刻胶超敏化的开发
DOI:
--
复制
发表时间:
2009
期刊:
影响因子:
--
通讯作者:
et al.
中科院分区:
文献类型:
--
作者:
T.Gowa;N.Fukutake;M.Washio;et al.
DOI:
10.1063/1.2436035
发表时间:
2007
期刊:
--
影响因子:
--
作者:
K. Yoshida;Y. Iwasaki;S. Koda;S. Okajima;H. Setoyama;Y. Takabayashi;T. Tomimasu;D. Yoshimura;H. Ohgaki
通讯作者:
H. Ohgaki
影响因子:
3.4
作者:
L. Beese;R. Feder;D. Sayre
通讯作者:
D. Sayre
影响因子:
2.2
作者:
David Sayre;J. Kirz;Ralph Feder;D. Kim;Eberhard Spiller
通讯作者:
Eberhard Spiller