Numerical microwave plasma discharge study for the growth of large single-crystal diamond
Numerical microwave plasma discharge study for the growth of large single-crystal diamond
复制标题
大单晶金刚石生长的微波等离子体放电数值研究
DOI：
10.1016/j.diamond.2014.11.005
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发表时间：
2015
影响因子：
4.1
通讯作者：
鹿田 真一
中科院分区：
文献类型：
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作者：
山田 英明;茶谷原 昭義;杢野 由明;鹿田 真一
