ZnO-SnO2 transparent conductive films deposited by opposed target sputtering of ZnO and SnO2 targets

ZnO-SnO2 transparent conductive films deposited by opposed target sputtering of ZnO and SnO2 targets
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ZnO和SnO2靶材对向溅射沉积的ZnO-SnO2透明导电薄膜

DOI:
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发表时间:
2004
期刊:
Vacuum Vol.74 No.3-4
影响因子:
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通讯作者:
Y.Hayashi et al.
Y.Hayashi et al.
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
M.Takeguchi;M.R.McCartney;D.J.Smith;K.Tominaga et al.;Y.Hayashi et al.;T.Moriga et al.;Y.Hayashi et al.;K.Tominaga et al.;T.Moriga et al.;Y.Hayashi et al.

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