X線トポグラフ法によるGaN結晶の欠陥評価
X線トポグラフ法によるGaN結晶の欠陥評価
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X射线形貌法评估GaN晶体缺陷
DOI:
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发表时间:
2015
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
秋本晃一
中科院分区:
文献类型:
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作者:
井上絵美子; 野口彩純;大山美咲;渡辺玲那;秋本晃一