X線トポグラフ法によるGaN結晶の欠陥評価

X線トポグラフ法によるGaN結晶の欠陥評価
复制标题

X射线形貌法评估GaN晶体缺陷

DOI:
--
复制
发表时间:
2015
期刊:
影响因子:
--
通讯作者:
秋本晃一
秋本晃一
中科院分区:
--
文献类型:
--
作者:
井上絵美子; 野口彩純;大山美咲;渡辺玲那;秋本晃一

文献摘要

相似文献