M.Kwasaki: "“Piezoelectric Effect on Plasma Chemical Vapor Deposition of Hydrogeneted Amorphous Silicon Films"" Mat.Res.Symp.Proc.297. 139-144 (1993)
M.Kwasaki: "“Piezoelectric Effect on Plasma Chemical Vapor Deposition of Hydrogeneted Amorphous Silicon Films"" Mat.Res.Symp.Proc.297. 139-144 (1993)
复制标题
M.Kwasaki：“氢化非晶硅薄膜等离子化学气相沉积的压电效应”，Mat.Res.Symp.Proc.297 (1993)。
DOI：
--
复制
发表时间：
--
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
