NbN電極上に作製したエピタキシャル(Al, Sc)N膜の電気特性評価
NbN電極上に作製したエピタキシャル(Al, Sc)N膜の電気特性評価
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NbN电极上外延(Al,Sc)N薄膜的电学性能评价
DOI：
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发表时间：
2023
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
舟窪浩
中科院分区：
文献类型：
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作者：
安岡慎之介;大田怜佳;岡本一輝;清水荘雄;舟窪浩
