Handbook of physical vapor deposition (PVD) processing
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DOI：
10.1016/c2009-0-18800-1
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发表时间：
2010-04
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
D. M. Mattox
中科院分区：
文献类型：
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作者：
D. M. Mattox
