Atomic level smoothing of CVD diamond films by gas cluster ion beam etching
Atomic level smoothing of CVD diamond films by gas cluster ion beam etching
复制标题
DOI：
10.1016/0168-583x(95)01007-6
复制
发表时间：
1996-05
影响因子：
1.3
通讯作者：
A. Yoshida;M. Deguchi;M. Kitabatake;T. Hirao;J. Matsuo;N. Toyoda;I. Yamada
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
A. Yoshida;M. Deguchi;M. Kitabatake;T. Hirao;J. Matsuo;N. Toyoda;I. Yamada
