Interferometrischer Liniensensor zur Formmessung von optischen Oberflächen
Interferometrischer Liniensensor zur Formmessung von optischen Oberflächen
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用于光学表面形状测量的干涉线传感器
DOI：
10.1515/9783110494297-017
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发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Peter Lehmann
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Sören Laubach;Gerd Ehret;Peter Lehmann
