Ti过渡层对NbSe2薄膜润滑-导电性能的影响
Ti过渡层对NbSe2薄膜润滑-导电性能的影响
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DOI：
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发表时间：
2018
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
郝俊英
中科院分区：
文献类型：
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作者：
刘金玉;隋旭东;张帅拓;徐书生;郝俊英
采用射频磁控溅射技术制备了系列金属钛(Ti)为过渡层的NbSe2薄膜，分析了Ti过渡层的厚度对薄膜成分、.结构和机械性能的影响，并研究了在大气环境下薄膜的润滑-导电性能. 结果表明：改变Ti过渡层的厚度，可实现对.薄膜中Se/Nb原子比和结晶度的调控. 随着Ti过渡层厚度的增加，薄膜的致密度、膜-基结合强度及力学性能得到了.明显改善. 同时，NbSe2薄膜维持原有(002)面择优取向，这利于薄膜的侧向滑移，从而提升了薄膜的减摩耐磨性能..然而，过厚的Ti过渡层会导致薄膜中Se/Nb原子比和结晶度下降，致使薄膜中游离金属元素含量升高. Ti过渡层的厚.度超过30 nm时，虽然薄膜的结构仍然致密，且导电性能也有所增强，但其减摩耐磨性能却明显减弱. 可见，适当厚.度的Ti过渡层，才有助于提高NbSe2薄膜的润滑-导电性能.