K.Teii, M.Hori, T.Goto: "Ion-to-CH_3 flux ratio in diamond chemical-vapor deposition"Journal of Applied Physics. 92巻7号. 4103-4108 (2002)
K.Teii, M.Hori, T.Goto: "Ion-to-CH_3 flux ratio in diamond chemical-vapor deposition"Journal of Applied Physics. 92巻7号. 4103-4108 (2002)
复制标题
K.Teii、M.Hori、T.Goto:“金刚石化学气相沉积中的离子与 CH_3 通量比”《应用物理学杂志》第 92 卷,第 7 期。4103-4108 (2002)
DOI:
--
复制
发表时间:
--
期刊:
影响因子:
--
通讯作者:
中科院分区:
文献类型:
--
作者: