高い波長選択性を持つMEMS Fabry-Perot干渉計を用いた表面応力セン
高い波長選択性を持つMEMS Fabry-Perot干渉計を用いた表面応力セン
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使用具有高波长选择性的 MEMS 法布里-珀罗干涉仪的表面应力传感器
DOI：
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发表时间：
2014
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
桝屋善光，高橋一浩，小澤遼，飛沢健，石田誠，澤田和明
中科院分区：
文献类型：
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作者：
K. Takahashi;C. Sasaki;M. Tani;T. Koyama;M. Akamatsu;Y. Yasuda;M. Ishida;and K. Sawada;桝屋善光，高橋一浩，小澤遼，飛沢健，石田誠，澤田和明
