Wet Processes for Boring, Grooving and Slicing Silicon Using Metal Catalysts
Wet Processes for Boring, Grooving and Slicing Silicon Using Metal Catalysts
复制标题
使用金属催化剂对硅进行镗孔、开槽和切片的湿法工艺
DOI：
--
复制
发表时间：
2009
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
Chia-Long Lee
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
H.Nakashima;D.Wang;H.Yang;Chia-Long Lee
