H.Kumazaki S.Inaba and K.Hane: "Optical measurement for deposition thickness using a thin glass vibrator installed in fiber coupling" J.Vac.Soc.Jpn.41. 165 (1998)
H.Kumazaki S.Inaba and K.Hane: "Optical measurement for deposition thickness using a thin glass vibrator installed in fiber coupling" J.Vac.Soc.Jpn.41. 165 (1998)
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H.Kumazaki S.Inaba 和 K.Hane：“使用安装在光纤耦合器中的薄玻璃振动器进行沉积厚度的光学测量”J.Vac.Soc.Jpn.41。
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