Numerical analysis of radio-frequency sheath-plasma interactions based on a sheath impedance model
Numerical analysis of radio-frequency sheath-plasma interactions based on a sheath impedance model
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基于鞘层阻抗模型的射频鞘层-等离子体相互作用的数值分析
DOI：
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发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Myra J.R.
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Kohno H.;Myra J.R.
