鉾井耕司: "C_7F_<16>/Heを用いたa-C : F膜のRFプラスマCVD"平成12年第61回応用物理学会学術講演会. 5a-F-11 (2000)

鉾井耕司: "C_7F_<16>/Heを用いたa-C : F膜のRFプラスマCVD"平成12年第61回応用物理学会学術講演会. 5a-F-11 (2000)
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Koji Hokoi:“使用 C_7F_<16>/He 的 a-C:F 薄膜的 RF 等离子体 CVD”第 61 届日本应用物理学会年会,2000 年。5a-F-11 (2000)

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