Two-step Sharpening Process for Silicon Probe in Quartz-based Atomic Force Microscopy Sensor
Two-step Sharpening Process for Silicon Probe in Quartz-based Atomic Force Microscopy Sensor
复制标题
石英原子力显微镜传感器中硅探针的两步锐化工艺
DOI：
10.7567/jjap.54.098005
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发表时间：
2015
影响因子：
1.5
通讯作者：
Hiroyuki Sugimura
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Takashi Ichii;Nobumasa Tagai;Kohei Omori;Tatsunori Uchida;Toru Utsunomiya;Hiroyuki Sugimura
