SOIピクセル検出器の電子線イメージングへの応用

SOIピクセル検出器の電子線イメージングへの応用
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SOI像素探测器在电子束成像中的应用

DOI:
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发表时间:
2017
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
石田高史
石田高史
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
吉川秀亮;宮川鈴衣奈;Hwan Hong Lim;平等拓範;江龍修;石田高史

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