Stress-induced chemical reaction of Ti/Si multilayered nano-films
Stress-induced chemical reaction of Ti/Si multilayered nano-films
复制标题
Ti/Si多层纳米薄膜的应力诱导化学反应
DOI：
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发表时间：
2018
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Toshiyuki KONDO and Kohji MINOSHIMA
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Hiroyuki HIRAKATA;Takashi KAWAI;Toshiyuki KONDO and Kohji MINOSHIMA
