原子層エピタキシー法を用いてN分布を意図的に変化させたGaAsN薄膜の作製と評価

原子層エピタキシー法を用いてN分布を意図的に変化させたGaAsN薄膜の作製と評価
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利用原子层外延有意改变氮分布的 GaAsN 薄膜的制造和评估

DOI:
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发表时间:
2017
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
鈴木 秀俊
鈴木 秀俊
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
上田 大貴;横山 祐貴;原口 智宏;山内 俊浩;鈴木 秀俊

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