表面部分窒化無酸素チタン蒸着を利用した非蒸発型ゲッターポンプの開発
表面部分窒化無酸素チタン蒸着を利用した非蒸発型ゲッターポンプの開発
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表面部分氮化无氧钛气相沉积非蒸发式吸气泵的研制
DOI：
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发表时间：
2023
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
大野真也
中科院分区：
文献类型：
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作者：
吉田 圭佑;菊地貴司;間瀬一彦;大野真也
