ミストCVD法の薄膜作製におけるファインチャネルおよび衝突混合の効果
ミストCVD法の薄膜作製におけるファインチャネルおよび衝突混合の効果
复制标题
微细通道和碰撞混合对雾气 CVD 薄膜制造的影响
DOI：
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发表时间：
2008
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
川原村 敏幸
中科院分区：
文献类型：
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作者：
吉元 貴志;李維涛;李維涛;李維涛;李維涛;李維涛;李維涛;Toshiyuki Kawaharamura;Toshiyuki Kawaharamura;Toshiyuki Kawaharamura;川原村 敏幸
