H.Takikawa, K.Manabe, T.Sakakibara: "Mass and ion energy analysis of vacuum are for TiN film deposition" 12^<th> International Conference on Gas Discharges and its Application. 1. 330-333 (1997)
H.Takikawa, K.Manabe, T.Sakakibara: "Mass and ion energy analysis of vacuum are for TiN film deposition" 12^<th> International Conference on Gas Discharges and its Application. 1. 330-333 (1997)
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H.Takikawa、K.Manabe、T.Sakakibara：“真空质量和离子能量分析用于 TiN 薄膜沉积”第 12 届气体放电及其应用国际会议。
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