武山 真弓 ら: "Cuメタライゼーションにおける低温で作製されたZrN薄膜の拡散バリヤ効果" 電子情報通信学会技術研究報告. 96,No.329. pp.27-33 (1996)
武山 真弓 ら: "Cuメタライゼーションにおける低温で作製されたZrN薄膜の拡散バリヤ効果" 電子情報通信学会技術研究報告. 96,No.329. pp.27-33 (1996)
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Mayumi Takeyama等人：“Cu金属化中低温制备的ZrN薄膜的扩散势垒效应”IEICE技术研究报告，第96期，第329期，第27-33页（1996年）。
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