ピエゾ駆動2探針ホルダーを利用したTEM内電気抵抗測定の高精度化

ピエゾ駆動2探針ホルダーを利用したTEM内電気抵抗測定の高精度化
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使用压电驱动双探头支架提高 TEM 中电阻测量的精度

DOI:
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发表时间:
2008
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
川本 直幸
川本 直幸
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
Kasuga;J.;Takata;N.;Arakawa;K;Fujikawa;S.;N. Kawamoto;川本直幸;川本直幸;佐藤寛;川本 直幸

文献摘要

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