Satoru TAKAHASHI,Takashi MIYOSHI,Yasuhiro TAKAYA: "Study on Nano-inprocess Measurement of Silicon Wafer Surface Defects by Laser Scattered Defect Pattern" Proceedings of ISMTII '96 Hayama, JAPAN. 243-250 (1996)
Satoru TAKAHASHI,Takashi MIYOSHI,Yasuhiro TAKAYA: "Study on Nano-inprocess Measurement of Silicon Wafer Surface Defects by Laser Scattered Defect Pattern" Proceedings of ISMTII '96 Hayama, JAPAN. 243-250 (1996)
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Satoru TAKAHASHI、Takashi MIYOSHI、Yasuhiro TAKAYA：“通过激光散射缺陷图案对硅晶片表面缺陷进行纳米过程测量的研究”ISMTII 96 Hayama 论文集，日本。
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