全湿式ブロックコポリマーリソグラフィーによる表面ナノ規則構造の作製
全湿式ブロックコポリマーリソグラフィーによる表面ナノ規則構造の作製
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全湿嵌段共聚物光刻法制备表面纳米结构
DOI：
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发表时间：
2008
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
彌田 智一
中科院分区：
文献类型：
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作者：
渡辺 亮子;鎌田 香織;彌田 智一
