HF/H2O2を用いたPdアシスト化学エッチングによるシリコンナノ構造物質の作製と評価

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HF/H2O2 钯辅助化学刻蚀硅纳米结构材料的制备与评价

DOI:
--
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发表时间:
2013
期刊:
影响因子:
--
通讯作者:
松井祐介,安達定雄
松井祐介,安達定雄
中科院分区:
--
文献类型:
--
作者:
T. Nakamura;T. Moriyama;N. Nabatova-Gabain;and S. Adachi;袁 澤,中村俊博,安達定雄,橋本修一;松井祐介,安達定雄

文献摘要

参考文献

被引文献

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