M. Hirose, S. Yokoyama, and Y. Yamakage: "Characterization of photochemical processing" J. Vac. Sci. Technol. B. 3. 1445-1449 (1985)
M. Hirose, S. Yokoyama, and Y. Yamakage: "Characterization of photochemical processing" J. Vac. Sci. Technol. B. 3. 1445-1449 (1985)
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M. Hirose、S. Yokoyama 和 Y. Yamakage：“光化学处理的表征”J. Vac。
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