スパッタ積層と高温アニールで作製したAlN膜における極性制御
スパッタ積層と高温アニールで作製したAlN膜における極性制御
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通过溅射堆叠和高温退火制备的 AlN 薄膜的极性控制
DOI：
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发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
三宅秀人
中科院分区：
文献类型：
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作者：
橋本卓実;正直花奈子;上杉謙次郎;肖世玉;窪谷茂幸;三宅秀人
