In-situ observation of thermal stress in nano-size thin aluminum films
In-situ observation of thermal stress in nano-size thin aluminum films
复制标题
纳米铝薄膜热应力的原位观察
DOI：
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发表时间：
2005
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
O.Sakata
中科院分区：
文献类型：
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作者：
T.Hanabusa;K.Kusaka;S.Shingubara;O.Sakata
